中文名：三氯硅烷

外文名：Trichlorosilane、Silicochloroform

别名：三氯氢硅

化学式：SiHCl3

分子量：135.452

CAS登录号：10025-78-2

EINECS登录号：233-042-5

熔点：-127 ℃

沸点：32 至 34 ℃

密度：1.342 g/cm³

外观：无色液体

闪点：-20 ℃

用途：主要用于制造硅酮化合物，也用于有机硅烷偶联剂和半导体硅的合成。三氯氢硅被列为电子特气及功能性材料产业园的规划产品之一

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