中文名：四甲基氢氧化铵

外文名：Tetramethylammonium hydroxide 、TMAH

化学式：C4H13NO

分子量：91.152

CAS登录号：75-59-2

EINECS登录号：200-882-9

熔点：68 至 71 ℃

沸点：110 ℃

水溶性：可溶

密度：0.866 g/cm³

外观：无色结晶性粉末

用途：在半导体工业中，TMAH作为正性光刻胶显影液的核心材料，用于集成电路和显示面板的制造工艺。其2.38%水溶液是标准的显影液浓度，能够 控制图形精度

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